日本ORC歐阿希紫外線光量計

SN型號已被長期使用我們的光刻設備和輻照設備的客戶廣泛采用，并確保了工藝管理的連續(xù)性。 SD型推薦給已經(jīng)在半導體和液晶基板制造過程中使用其他公司生產(chǎn)的測光表的客戶，以及擔心確保與這些測量儀器的數(shù)據(jù)兼容性的客戶（SD型也用于我們光刻設備中的投影光刻設備和液晶基板的外圍光刻設備），以及使用全新測光表的客戶。

為了保證舊過程數(shù)據(jù)的兼容性，采用SN型作為SD型的指示值（在相同的測量條件下測量我們測量組中用作校準輻射源的高壓紫外燈的365nm發(fā)射線時指示的照度值）： mW/cm2）。

與可見光的測光表和測光表（以LUX單位測量家庭，辦公室，商店，博物館等亮度的測光表和測光表）不同，適用于所有測光表和紫外線測光表的標準尚未建立（似乎正在為少數(shù)有限的應用進行JIS轉換工作）。 即使每家公司的相對光譜靈敏度是為了測量主要由365 nm發(fā)射線組成的光源的照度，從測量的峰值波長（相對光譜靈敏度特征用1表示的波長）開始，短波長側（約300 nm~310 nm）和長波長側（約380 nm~400 nm）上升， 下降的波長和前后的曲線略有不同。 此外，在設計方面也做出了努力，使光感受器的感光角特性（稱為COSθ特性）更接近理想曲線，但現(xiàn)實情況是它們尚未實現(xiàn)。

	接收器（可互換）	UV-SD35（UV-SN35）
	測量波長范圍	310~385納米
	測量光范圍	0.01~999.9mJ/cm2
	測量照度范圍	帶開關的開關 范圍1：0.01~10.00mW/cm2 范圍2：0.1~50.0mW/cm2
	輸入/輸出信號 （D-sub 連接器）	輸入 （1） 遠程啟動 （2） 遠程停止 繼電器觸點輸出 （1） N。 O.（啟動時打開） （2） N. C. （3） 警報
	對準精度	在紫外線標準的 ±2% 以內(nèi)
	重復性	±2%以內(nèi)

日本ORC歐阿希紫外線光量計

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